Polish
Informacje o kliencie
Przedsiębiorstwo specjalizuje się w produkcji fotorezystów i specjalnych gazów elektronicznych dla półprzewodników. Proces oczyszczania przez utlenianie ozonem w jego fabryce wymaga stabilnych dostaw tlenu o wysokiej czystości (≥99,2%), a sprzęt musi być zgodny z południowokoreańskimi standardami bezpieczeństwa gazów przemysłowych oraz wymaganiami bezpyłowej produkcji przemysłu półprzewodnikowego.
Kluczowe problemy
-
Pierwotny sposób dostarczania ciekłego tlenu wiąże się ze stratami transportowymi (około 5%) i jest w dużym stopniu zależny od wahań międzynarodowych cen ciekłego tlenu, co skutkuje niewystarczającą stabilnością dostaw;
-
Produkcja materiałów półprzewodnikowych ma bardzo wysokie wymagania dotyczące czystości tlenu, co wymaga kontrolowania zawartości cząstek ≤ 0,1μm i eliminacji zanieczyszczeń olejem;
-
Fabryka ma ograniczoną przestrzeń, co wymaga kompaktowej konstrukcji sprzętu, przy jednoczesnym spełnieniu surowych południowokoreańskich wymagań dotyczących emisji do środowiska.
Rozwiązanie
GNEE dostarczyło jeden zestaw systemu tlenowego VPSA o wysokiej czystości 800Nm³/h, przyjmując niestandardowe rozwiązanie "proces bezolejowy + wielostopniowe oczyszczanie":
-
Wybrano importowane bezolejowe sprężarki powietrza, w połączeniu z trzystopniowymi filtrami (precyzyjna filtracja + adsorpcja węgla aktywnego + wydajne usuwanie oleju), zapewniając, że zawartość cząstek tlenu jest mniejsza niż 0,05μm, a zawartość oleju wynosi ≤ 0,001mg/m³;
-
Zastosowano wysokowydajne sita molekularne na bazie litu i dwuwieżową strukturę adsorpcyjną, a optymalizując cykl adsorpcji-desorpcji, czystość tlenu utrzymuje się stabilnie na poziomie 99,3%-99,5%;
-
Sprzęt przyjmuje modułową, zintegrowaną konstrukcję, a jego powierzchnia zajęta przez urządzenie jest o 40% mniejsza niż w przypadku tradycyjnego sprzętu, spełniając wymagania fabryki dotyczące przestrzeni.
Efekty zastosowania
-
Stabilne dostawy: Zrealizowano tryb produkcji tlenu na miejscu "produkcja na żądanie i natychmiastowe użycie", całkowicie zastępując dostawy ciekłego tlenu. Roczny koszt strat transportowych został obniżony o ponad 300 000 USD, a wahania czystości tlenu wynoszą ≤ 0,1%;
-
Ulepszenie procesu: Tlen o wysokiej czystości zwiększa wydajność oczyszczania fotorezystu o 15%, a wydajność produktu wzrasta z 96,2% do 98,5%, uzyskując certyfikat łańcucha dostaw firmy Samsung Electronics;
-
Zgodność i oszczędność energii: Sprzęt przeszedł odpowiednie certyfikacje, a emisje gazów odpadowych są niższe niż południowokoreańskie standardy ochrony środowiska. Jednostkowe zużycie energii przez tlen wynosi 0,35kW·h/m³, co jest o 8% niższe niż w przypadku lokalnego sprzętu w Korei Południowej.
Oprócz generatorów tlenu VPSA produkujemy również generatory tlenu PSA, zbiorniki magazynowe, wymienniki ciepła i inne produkty. Jeśli jesteś zainteresowany systemami tlenowymi VPSA lub innymi produktami, skontaktuj się z nami, wysyłając e-mail na adres info@gneeheatex.com. Z przyjemnością Ci pomożemy.
